薄膜濺鍍靶材 - Digitimes

2010年7月15日 - 靶材(target)是薄膜濺鍍製程的主要材料,通常用高純度化合物或純金屬製成,主要應用產業 ...

濺鍍- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

濺鍍一般是在充有惰性氣體的真空系統中,通過高壓電場的作用,使得氬氣電離,產生氬離子流,轟擊靶陰極,被濺出的靶材料原子或分子沉澱積累在半導體晶片或 ...

物理氣相沉積(PVD)介紹

機制來進行薄膜沉積製程技術,所謂物理機制就是物質 ... 而PVD 的濺鍍製程,可以達成快速的沈積速率、 ... 速去撞擊靶材,將靶材上的金屬給撞擊下來,並沉積在.