什麼是靶材? | Yahoo奇摩知識+

2004年12月28日 - 濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法,在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生游離,經由電場的作用,向塗佈體(通常是晶圓片、 ...

濺鍍靶材 - Sputter Target

濺鍍靶材( sputter target ) 是現代薄膜科技常用的一種鍍膜材料。靶材在高真空、高電壓的環境中,經高能量電子束轟擊後,靶材表面的電子發生游離,並沈積在基板上 ...

濺鍍靶材

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何謂靶材@ 阿峰~ :: 隨意窩Xuite日誌

何謂靶材 (一) 靶材(Target)是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料。濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法,在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生 ...