標籤: 濺鍍製程

濺射（sputtering），也稱濺鍍（sputter deposition/coating），是一種物理氣相沉積技術，指固體靶"target"（或源"source"）中的原子被高能量離子（通常來自電漿體）撞擊而 ...

濺鍍（sputtering）是利用電漿（plasma）對靶材料進行離子轟擊（ion ... 於一密閉製程真空腔體內部通入Argon惰性氣體，於靶材表面及基板間施加一高電壓，此一高電壓 ...

【實驗目的】. 利用高速運動之Ar+離子對濺鍍槍上之靶材進行轟擊，並使轟擊出之靶材原子沈積於基板上。 【所需器材】. 機械幫浦. 分子渦輪幫浦. 真空壓力計. 超精密洩漏 ...

濺鍍製程技術的特點. ○ 附著性佳. ○ 均勻度高. ○ 沉積速度快. ○ 適合鍍製合金材料. ○ 金屬或絕緣材料均可鍍製. 台灣師範大學機電科技研究所. C R. Yang, NTNU ...

其應用範圍來自於技術本身的特性, 濺鍍製程中不會產生其他有害物質, 其膜層表面緻密性也高, 且相較於傳統的濺鍍技術, 目前的濺鍍製程已經可以將工作溫度降 ...

的相變化，如蒸鍍(Evaporation)、濺鍍(Sputtering)。而. 這種過程無涉及化學反應，因此所沉積的材料純度佳且. 品質穩定。 而PVD 的濺鍍製程，可以達成快速的沈積 ...

利用電漿所產生的離子，藉著離子對被濺鍍物體電極的 ... ◇DC電漿進行薄膜的濺鍍時，所沉積的薄膜材質是陰電 ... 通常以靶來表示用在濺鍍製程裡的陰電極板 ...

2017年1月16日 - 濺鍍在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生，屬於物理氣相沉積(PVD)，由於只需要高真空，而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積，成本較低 ...

以磁控射頻濺鍍的方式在玻璃上鍍鋁，使同學了解濺鍍流程。 ... 直流濺射鍍膜系統基本上是在高真空環境中充入工作氣體（一般為氬氣），. 藉著兩 ... 薄膜製程上課講義.

本中心的共濺鍍系統是採用優貝克科技(ULVAC) 日本原裝系統(ACS-4000-C3) ，其優點在於能同時利用多個靶材進行濺鍍製程，濺鍍時所使用的工作氣體多為氬 ...