UVAT友威科技股份有限公司

友威科技(UVAT)成立於2002年,常年積極投入真空濺鍍製程技術及鍍膜系統設計及開發,以PVD(濺鍍、蒸鍍、蒸濺鍍)、CVD(PECVD、MOCVD、ThermalCVD)、Dry ...

濺鍍原理 - 創新技術

使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境,將陰極加至數百伏特電壓,讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿,並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材 ...

技術辭典 - 友威科技股份有限公司

濺鍍(sputtering)是利用電漿(plasma)對靶材料進行離子轟擊(ion ... 於一密閉製程真空腔體內部通入Argon惰性氣體,於靶材表面及基板間施加一高電壓,此一高電壓 ...

濺鍍- 維基百科,自由的百科全書 - Wikipedia

濺鍍一般是在充有惰性氣體的真空系統中,通過高壓電場的作用,使得氬氣電離,產生氬離子流,轟擊靶陰極,被濺出的靶材料原子或分子沉澱積累在半導體晶片或 ...

真空濺鍍 - Digitimes

2010年7月7日 - 真空濺鍍處理即在金屬、塑膠、玻璃或其他材質表面鍍膜處理,具有低成本、高緻密度、高產量與符合綠色環保訴求等優點。

360°科技-低溫真空濺鍍 - Digitimes

低溫真空濺鍍(Sputtering)奈米製程是1種新興的鍍膜工法,利用氬(Ar)離子轟擊靶材(如銅、鉻、鋁等),擊出靶材原子變成氣相並析鍍於基材上,可應用在行動電話、個人 ...