2004年12月28日 - 靶材(Target)是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料。 濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法,在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生 ...
出處/學術領域, 英文詞彙, 中文詞彙. 學術名詞 核能名詞, target material, 靶材料. 學術名詞 電機工程名詞, target material, 靶材料 ...
在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),永久磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同 ...
濺鍍靶材( sputter target ) 是現代薄膜科技常用的一種鍍膜材料。靶材在高真空、高電壓的環境中,經高能量電子束轟擊後,靶材表面的電子發生游離,並沈積在基板上 ...
靶材(target),是對物理氣相沉積技術應用的鍍膜材料。在沉積過程中,膜材要 ... 就像被射擊的靶子一樣。而濺射靶材,是靶材的一種,指應用在真空濺射去鍍膜的靶材.
何謂靶材 (一) 靶材(Target)是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料。濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法,在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生 ...
The 旋轉型(管型)濺鍍靶材產品series contains a wide range of products including 顯示器旋轉(管型)濺鍍靶材offered by , a 中華民國(R.O.C.) based OEM_ODM ...
靶材依鍍膜機採用的濺鍍槍(Gun) 不同而有不同的設計, 分成電弧靶與濺鍍靶二大類 ... 靶材必須是良導體, 導電不佳的材料不能做電弧靶電弧靶通常是圓形, 直徑3”~6”, ...
光洋的靶材提供了良好的薄膜特性與濺鍍效率,有助於碟片品質的掌控。除此之外對於靶材之清淨度、晶像均勻性和回收系統等,與相關的整合技術與品質服務,一直 ...